特許

J-GLOBAL ID：200903012729864289

原子間力顕微鏡

発明者： 村井 誠一郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-111776
公開番号（公開出願番号）：特開平5-306925
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】【目的】本発明は、第1の目的とするところは、探針の変位を検出する変位測定系の構造を簡素化し、かつ高精度の測定を可能とした原子間力顕微鏡を提供するものである。【構成】探針4をカンチレバー20に保持し、このカンチレバーの変位を測定する変位測定手段22を具備し、上記カンチレバーの変位から原子間力を変位測定手段で測定し、かつこの原子間力を一定に保持しながら被測定物表面を走査することにより、被測定物表面の微細形状を検出する原子間力顕微鏡において、上記変位測定手段は、上記カンチレバー20背面を被覆する圧電薄膜22Aである。

請求項（抜粋）：

探針を保持するカンチレバーと、このカンチレバーの変位を測定する変位測定手段を具備し、上記カンチレバーの変位から原子間力を変位測定手段で測定し、かつこの原子間力を一定に保持しながら被測定物表面を走査することにより、被測定物表面の微細形状を検出する原子間力顕微鏡において、上記変位測定手段は、上記カンチレバーに直接備えられることを特徴とする原子間力顕微鏡。