特許
J-GLOBAL ID：200903012751181098
静電吸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木田 茂 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-030407
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244271
出願日： 1993年02月19日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】絶縁物で覆われた少なくとも一対の電極間に電圧を印加して、各対の電極を覆う絶縁物の表面に配置した被処理物を静電的に吸着する静電吸着装置において、長期間に渡って十分な静電吸着力を保証して安定した動作を保証できるようにすることを目的とする。【構成】各対の電極に交流電圧を印加する交流電源5を設け、この交流電源の一次側と二次側とを絶縁し、各対の電極2に交流高電圧を供給する二次側を接地電位に対し浮遊電位に維持したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
所定の間隔で設けられ、絶縁物で覆われた少なくとも一対の電極間に電圧を印加して、各対の電極を覆う絶縁物の表面に配置した被処理物を静電的に吸着する静電吸着装置において、各対の電極に交流電圧を印加する交流電源を設け、この交流電源の一次側と二次側とを絶縁し、各対の電極に交流高電圧を供給する二次側を接地電位に対し浮遊電位に維持したことを特徴とする静電吸着装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
, H01L 21/302
