特許

J-GLOBAL ID：200903012772046964

走査形電子顕微鏡

発明者： 影山 甲子男 ,  山田 理
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097359
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310072
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】マウス等のポインティングデバイスを備えた走査形電子顕微鏡において、画像上のポイントに追従して視野移動を行うように制御すること。またポイントの位置を基準に倍率が変化するよう制御すること。【構成】観察画像の視野移動を行うために電気的視野移動コイルと、試料移動機構の、どちらか一つまたは両方を合わせて座標制御するようにし、さらにマウス等のポインティングデバイス26により画像の視野移動を行うとき、表示モニタ22に表示されたポイントを移動させたとき、表示モニタ上のポイントの移動に追従して視野が移動するよう座標制御する。また、倍率を変えるとき、表示モニタ22上のポイントの位置を基準に倍率が変化するよう視野移動の座標制御を行う。

請求項（抜粋）：

電子線通路に設けた偏向系により試料上に照射する電子線の位置を変え観察視野を移動する電気的視野移動機能と試料の位置を移動する移動機構の一方または両方と、画像表示モニタ上の画像と重ねて矢印や+マーク等のポイントを表示する機能と、そのポイントを任意の位置に移動しながら、その点をピックするためのスイッチ部をもつポインティングデバイスとを備えた走査形電子顕微鏡において、画像上の任意の点をピックしながらそのポイントを移動したとき、ピックされた試料上の位置を前記した電気的視野移動及び試料移動機構を座標制御することにより、ポイントの動きに追従して視野移動するように制御したことを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-185350
  
• 特開昭62-037856
  
• 特開昭51-124369
  
• 特開昭54-078075