特許

J-GLOBAL ID：200903012776685040

電子プローブマイクロアナライザ

発明者： 能登谷 智史
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-171154
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002674
出願日： 1998年06月18日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】面分析において、試料上に形成された薄膜の膜厚をマップ画像表示する。【解決手段】制御手段3は、面分析の動作を行い、信号処理部3からの信号を取り込み、基材10の各画素位置からのX線強度データと、薄膜10の各画素位置からのX線強度データをX線強度データ格納部8に格納する。膜厚マップ画像作成部7は、指示された方法により、基材10のある画素位置でのX線強度と、薄膜11の同じ画素位置でのX線強度とから当該画素位置での薄膜11の膜厚を演算し、その結果を画像メモリの当該画素位置に書き込む処理を全ての画素位置について行う。そして、求められた膜厚をいくつかの段階に分け、各段階に対して異なる色を割り当てて表示する。このとき膜厚マップ画像のどの色がどのような膜厚であるかを示すカラーバーをも表示する。

請求項（抜粋）：

面分析が可能となされた電子プローブマイクロアナライザにおいて、検出器から得られた信号に対して所望の変換処理を施す変換手段と、前記変換手段によって得られた変換結果を所望の単位により表示可能な表示手段とを備えることを特徴とする電子プローブマイクロアナライザ。

IPC (3件)：

G01N 23/225 ,  G01B 15/02 ,  H01J 37/252

FI (3件)：

G01N 23/225 ,  G01B 15/02 B ,  H01J 37/252 A

Fターム (21件)：

2F067AA27 ,  2F067BB17 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ03 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK02 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067LL00 ,  2F067RR35 ,  2F067SS13 ,  2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001HA07 ,  2G001KA01 ,  2G001KA11 ,  2G001MA05 ,  5C033PP04 ,  5C033PP05 ,  5C033PP06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭54-086367
  
• EPMA等におけるデータ検索システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-293360   出願人：日本電子株式会社