特許
J-GLOBAL ID：200903012787027753
処理システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210978
公開番号（公開出願番号）：特開平6-037168
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】[目的]キャリアの保管中にキャリア内の被処理体の不所望な酸化その他の変質を防止する。[構成]キャリア収納室18Aは、上面、下面、両側面および裏面が板で閉塞され、前面が開口した箱状の収納室本体150と、この収納室本体150の前面を必要に応じて開閉するための板状の扉152とからなる。キャリア収納室18Aには不活性ガス供給管170および排気管172が接続され、それらの配管170,172にそれぞれ開閉バルブ174,176が設けられる。これらの開閉バルブ174,176は、ストッカ制御部178によってオン・オフ制御される。また、キャリア収納室18Aの室内のO2 濃度値を測定するO2 濃度検出器180が設けられる。O2 濃度検出器180で測定された各キャリア収納室18AのO2 濃度値はストッカ制御部178に与えられる。
請求項（抜粋）：
1つまたは複数の処理部を有し、前記処理部で所定の処理を受ける板状の被処理体をキャリアに収容した状態で搬送するようにした処理システムにおいて、前記キャリアを収納するための密閉可能なキャリア収納室と、前記キャリア収納室に不活性ガスを供給するための不活性ガス供給手段と、前記キャリア収納室の室内を排気するための排気手段とを具備することを特徴とする処理システム。
IPC (2件)：
引用特許：
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