特許
J-GLOBAL ID：200903012787147988

無機-有機ハイブリッド薄膜及びその製造方法

発明者：
穂積 篤

穂積 篤 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-026400
公開番号（公開出願番号）：特開2003-226977
出願日： 2002年02月04日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】 無機-有機ハイブリッド薄膜、その製造方法及び該薄膜を表面に形成してなる高潤滑性部材を提供する。【解決手段】 金属、セラミックス、ガラス、プラスチックの内から選択された1種類以上からなる基材を用い、該基材に、有機シラン化合物、有機金属化合物のセラミックス前駆体の内から選択された1種類以上を付着させて膜を形成し、その後、該膜を光酸化及び/又は3次元架橋させることにより有機成分を除去してセラミックス薄膜に化学変化させた後、該セラミックス薄膜表面にフッ化炭素鎖及び/又は長鎖アルキル基を有する有機シランを化学反応させてなる耐摩耗性、潤滑性、撥水、撥油性を有する無機-有機ハイブリッド薄膜、その製造方法、及び表面に上記薄膜を形成してなる高潤滑性部材。
請求項（抜粋）：
基材に、有機シラン化合物、有機金属化合物のセラミックス前駆体の内から選択された1種類以上を付着させて膜を形成し、その後、該膜を光酸化及び/又は3次元架橋させることで有機成分を除去してセラミックス薄膜に化学変化させた後、該セラミックス薄膜表面にフッ化炭素鎖及び/又は長鎖アルキル基を有する有機シランを化学反応させたことを特徴とする耐摩耗性及び潤滑性を有する無機-有機ハイブリッド薄膜。
IPC (4件)：
C23C 16/48 ,  C23C 18/14 ,  C23C 28/00 ,  G11B 5/187
FI (4件)：
C23C 16/48 ,  C23C 18/14 ,  C23C 28/00 Z ,  G11B 5/187 K
Fターム (38件)：
4K022AA02 ,  4K022AA03 ,  4K022AA04 ,  4K022AA13 ,  4K022BA33 ,  4K022DA08 ,  4K022DB30 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA11 ,  4K030BA29 ,  4K030BA35 ,  4K030BB13 ,  4K030CA02 ,  4K030CA05 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA06 ,  4K030LA20 ,  4K030LA23 ,  4K044AA02 ,  4K044AA12 ,  4K044AA13 ,  4K044AA16 ,  4K044BA21 ,  4K044BC01 ,  4K044BC02 ,  5D111BB28 ,  5D111BB37 ,  5D111BB48 ,  5D111FF24 ,  5D111FF28 ,  5D111GG14 ,  5D111JJ03 ,  5D111JJ06 ,  5D111KK07 ,  5D111KK08
引用特許：
審査官引用 (1件)
  • 光励起CVD方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-353337   出願人：バブコック日立株式会社
引用文献：
審査官引用 (1件)

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