静電吸着電極

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-231623
公開番号（公開出願番号）：特開平10-074825
出願日： 1996年09月02日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】除電時間を短縮してウエハ処理のスル-プットの向上を図る。【解決手段】一対の内電極10と外電極11と、内電極10と外電極11との間を絶縁する絶縁物12と、内電極10および外電極11の表面を覆う絶縁膜13,14とによって静電吸着電極15を構成し、絶縁膜13,14の抵抗値の比、すなわち、膜厚を試料吸着面積で除算した値に固有抵抗値を乗算して得られる抵抗値の比を1:10以上となる絶縁膜を各絶縁膜13,14に用いる。

請求項（抜粋）：

一対の電極上に絶縁膜を設け、該電極間に電圧を印加して試料を静電吸着力により支持する静電吸着電極において、前記一対の電極上のそれぞれの絶縁膜の抵抗値の比を1:10以上とし、該抵抗値は絶縁膜の膜厚を試料吸着面積で除算した値に該絶縁膜の固有抵抗値を乗算して得られる抵抗値としたことを特徴とする静電吸着電極。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H01L 21/3065

FI (3件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H01L 21/302 B

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