特許

J-GLOBAL ID：200903012789378367

複数装置より構成されるインライン工程システム

発明者： 小林 教郎 ,  原 典彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-083403
公開番号（公開出願番号）：特開平9-275049
出願日： 1996年04月05日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【目的】 インライン工程システムにおいて、スループットの低下を極力抑え、効率的な操業を行いうるシステムを提供することを目的とする。【構成】 生産物に対して処理を行う2以上の互いに独立した装置から成るインライン工程システムであって、連続する上記各装置間に設けられた、該装置間の通信を行う装置間通信手段と該装置間で生産物の搬送を行う搬送手段とを有するシステムにおいて、各装置との間に双方向の通信手段を有し、該通信手段を通じて各装置の処理状況を示す情報を得て、該情報に基づいて各装置を制御するためのインライン工程監視手段を設けた。

請求項（抜粋）：

生産物に対して処理を行う2以上の互いに独立した装置から成るインライン工程システムであって、連続する上記各装置間に設けられた、該装置間の通信を行う装置間通信手段と該装置間で生産物の搬送を行う搬送手段と、各装置との間に双方向の通信手段を有し、該通信手段を通じて各装置の処理状況を示す情報を得て、該情報に基づいて各装置を制御するためのインライン工程監視手段を有することを特徴とするインライン工程システム。

IPC (4件)：

H01L 21/02 ,  G06F 17/60 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 A ,  G06F 15/21 R ,  H01L 21/30 502 Z