特許

J-GLOBAL ID：200903012790416922

搬送方法、露光装置

発明者： 武藤 貴和
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-149065
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332600
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 トレイによりガラス基板を搬送する際に、基板に破損が生じた際にも復旧作業を短時間のうちに可能な効率の良い搬送方法、この基板を露光する露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 露光装置Sはガラス基板Pを支持可能なトレイTを収納するトレイバッファTBを備えており、基板搬送中にガラス基板Pの異常が検出された際、トレイTはトレイバッファTBに退避されるようになっている。したがって、退避後においては清掃等の復旧作業が効率良く行われる。また、退避させることによって、搬送経路上に、例えば仮想的なトレイTやガラス基板Pを設定することができ、通常時の搬送動作を行うことができる。

請求項（抜粋）：

基板を支持可能な基板支持部材により、前記基板を基板処理部へ搬送する搬送方法において、前記基板の異常を検出した際に、前記基板支持部材を退避させることを特徴とする搬送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/06 Z ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (33件)：

5F031CA05 ,  5F031DA13 ,  5F031EA18 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA05 ,  5F031GA07 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031HA12 ,  5F031HA14 ,  5F031HA34 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031KA01 ,  5F031KA03 ,  5F031KA11 ,  5F031KA12 ,  5F031KA20 ,  5F031MA27 ,  5F031NA02 ,  5F031PA02 ,  5F031PA18 ,  5F046CC01 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05