特許
J-GLOBAL ID：200903012794833722
角速度検出装置、角速度検出装置による角速度検出方法および角速度検出装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-300056
公開番号（公開出願番号）：特開2005-195574
出願日： 2004年10月14日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
【課題】環状薄膜の振動子を用い電極配置を工夫することで、角速度の高い検出感度を得るとともに2軸方向の角速度の同時検出を可能とする。【解決手段】第1基板1100の表面からある一定の間隔を有して浮動するもので、第1基板1123上に形成した支持部1105、1106に支持された支持弾性体(外側バネ1102および内側バネ1103)を介して設けた振動子1101と、その振動子1101を一定の励振方向に振動させる励振手段(磁石1124と駆動電極1108)と、励振手段により振動子1101を励振方向に振動させた状態で外部から角速度が作用したときに、その角速度に対して振動子1101が励振方向と直交する方向の変位を検出する変位検出手段(検出電極1109、電極1120)とを備え、振動子1101もしくは振動子1101を含む角速度検出部を電磁駆動により励振させるものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板の表面に設けられた支持部と、
前記支持部に一方端が接続された支持弾性体と、
前記基板の表面からある一定の間隔を有して浮遊した状態で前記支持弾性体の他方端に支持され、前記基板に対して変位可能な振動子と、
前記振動子を一定の励振方向に振動させる励振手段と、
前記励振手段により、前記振動子を励振方向に振動させた状態で外部から角速度が作用したときに、前記角速度に対して、前記振動子が励振方向と直交する方向の変位を検出する変位検出手段とを備え、
前記振動子もしくは前記振動子を含む角速度検出部を電磁駆動により励振させる
ことを特徴とする角速度検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2F105BB02
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD07
出願人引用 (2件)
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マイクロ振動体
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-363559
出願人：株式会社村田製作所
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ジャイロスコープ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-103628
出願人：株式会社村田製作所
審査官引用 (8件)
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振動ジャイロセンサー
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-292586
出願人：住友精密工業株式会社
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力学量センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-029808
出願人：株式会社デンソー
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力学量センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-029807
出願人：株式会社デンソー
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