特許
J-GLOBAL ID：200903012821730590
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-063057
公開番号（公開出願番号）：特開平7-271048
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 手作業によらず自動的に露光装置の原版フィルムの清掃を行う。【構成】 基板投入部に供給された未露光の基板を、搬送手段6により露光部へ搬送し、1対の原版フィルム1,2を介して基板の両面に同時露光する露光装置において、搬送手段6の吸着板30にクリーンローラユニット40が取り付けている。図示しないモータの駆動によりピニオン44が回転すると、ピニオン44と噛合するラック46,47が移動し、これらに連結されたクリーンローラ56は上昇して上原版フィルム1に、クリーンローラ57は下降して下原版フィルム2に、それぞれ当接する。この時、バネ部材52,53の作用により両クリーンローラは原版フィルム1,2に圧接する。この状態でスライダ36を右方へ移動させることにより、クリーンローラ56,57は原版フィルム1,2に圧接しつつ回転しながら、原版フィルム1,2の塵埃を外周の粘着部に付着させて取り除く。
請求項（抜粋）：
1対の原版フィルムを基板の上下に配設した状態で上記基板の両面に同時露光可能な露光部と、上記露光部に隣接して設けられ未露光の基板が供給される基板投入部と、上記露光部と上記基板投入部との間で上記基板を搬送可能な搬送手段とを含み、上記露光部には、下原版フィルムを保持する下枠と、上記下枠と対向して設けられ上原版フィルムを保持する上枠と、上記両枠間に配設された上記基板の両面に上記両原版フィルムを介して露光可能な1対の露光用光源と、上記両枠の相対位置関係を調整可能な枠位置合わせ手段が設けられており、上記搬送手段には、上記両枠間を進退し上記両原版フィルムを清掃可能なクリーンローラユニットが設けられていることを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 511
, H05K 3/00
, H05K 3/06
