特許

J-GLOBAL ID：200903012827084631

半導体基板収納容器

発明者： 西山 裕亜紀
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-108974
公開番号（公開出願番号）：特開2003-303879
出願日： 2002年04月11日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】保管中や運搬中での周囲雰囲気や容器からの脱ガス等に起因する半導体基板としての極微量の汚染を確実に抑制して生産性向上を図る。【解決手段】半導体基板収納容器5を、半導体基板を保持する手段を備えた金属からなる本体部 51 と該本体部に装着される金属からなる蓋部 52 と該本体部と該蓋部とを所定の蓋締め力で着脱し得る蓋止め金具 53 とを含んで構成し、本体部開口面の側壁に沿った領域には断面矩形状の凹溝 511b を設けると共に蓋部の前記凹溝対応領域には枕状突起 521b を設け、該枕状突起の高さが前記凹溝の深さを超えるように、半導体基板収納容器を構成する。

請求項（抜粋）：

立てた状態の半導体基板を並行して保持する手段を備えた有底箱形の金属からなる本体部と、該本体部の開口面に装着される有底箱形の金属からなる蓋部と、前記本体部に装着される掛け金と前記蓋部に装着されるフックとからなり該本体部と該蓋部とを所定の蓋締め力で着脱し得る蓋止め金具と、を含んで構成され、前記本体部の開口面には側壁に沿った領域に底面が平坦な断面視矩形状の凹溝が設けられ、前記蓋部の前記凹溝と対応する領域には該凹溝に挿入し得る大きさで先端面が平坦な枕状突起が設けられ、該枕状突起の高さが前記凹溝の深さを超えるように構成されていることを特徴とする半導体基板収納容器。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65D 43/02 ,  B65D 45/16 ,  B65D 85/86

FI (5件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 43/02 Z ,  B65D 45/16 ,  B65D 85/38 R ,  B65D 85/38 K

Fターム (42件)：

3E084AA05 ,  3E084AA14 ,  3E084AA22 ,  3E084AB10 ,  3E084BA01 ,  3E084CA03 ,  3E084CB04 ,  3E084CC01 ,  3E084DA03 ,  3E084DB09 ,  3E084DB13 ,  3E084DB18 ,  3E084DC01 ,  3E084FA09 ,  3E084FC12 ,  3E084GB13 ,  3E096AA01 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA11 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DB06 ,  3E096EA06X ,  3E096FA03 ,  3E096FA09 ,  3E096FA22 ,  3E096GA01 ,  3E096GA07 ,  3E096GA14 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA01 ,  5F031EA10 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031NA02 ,  5F031PA26