特許
J-GLOBAL ID：200903012833884631
超音波洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-073699
公開番号（公開出願番号）：特開平7-275817
出願日： 1994年04月13日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：
【要約】【目的】 この発明は振動子の経時変化などによって超音波洗浄能力が低下するのを防止した超音波洗浄装置を提供することを目的とする。【構成】 超音波振動が付与された洗浄液によって被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、上記洗浄液に超音波振動を付与するための振動子7を有する洗浄ユニット1と、上記振動子に所定の周波数の電圧を印加して超音波振動を発生させる電源部17と、上記洗浄液に付与された音圧を検出するセンサ12と、このセンサからの検出信号によって上記電源部を駆動して上記振動子に印加する電圧の周波数を制御する制御装置14とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
超音波振動が付与された洗浄液によって被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、上記洗浄液に超音波振動を付与するための振動子を有する洗浄ユニットと、上記振動子に所定の周波数の電圧を印加して超音波振動を発生させる電源部と、上記洗浄液に付与された音圧を検出する検出手段と、この検出手段からの検出信号によって上記電源部が上記振動子に印加する電圧の周波数を制御する制御手段とを具備したことを特徴とする超音波洗浄装置。
IPC (5件)：
B08B 3/12
, B06B 1/02
, G03F 1/08
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
