特許

J-GLOBAL ID：200903012834823318

検査可能な膜圧力センサ

発明者： フオルケル・ペトリ ,  ラインホルト・ミツケレル ,  ミヒヤエル・マイエル ,  ボクダン・セルバン ,  ミツシエル・ヴイツテ
出願人/特許権者： メルセデス-ベンツ・アクチエンゲゼルシヤフト ,  アイ・イー・イー・インターナシヨナル・エレクトロニクス・アンド・エンジニヤリング・ソシエテ・パル・アクシオン・デ・ラ・レスポンサビリテ・リミテ
代理人 (1件)： 中平 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-233524
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119874
出願日： 1996年08月01日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【目的】 低抵抗に構成できかつ所定の面積において検査を可能にしながらできるだけ高い感度を可能にする膜圧力センサを提供する。【構成】 検査可能な膜圧力センサが熱可塑性プラスチツクから成る2つの一緒に積層される支持膜から構成され、第1の支持膜が半導体ポリマ層で被覆され、第2の支持膜が互いに隣接しかつそれぞれ両端で接続可能な2つの帯状導体で被覆され、これらの帯状導体が、空間的に区画されてセンサ素子を形成する範囲内に、接触することなく互いにかみ合う櫛状構造を持つている。本発明により、センサ素子内で両方の櫛状構造の接触フインガの少なくとも1つが帯状導体ループにより形成され、少なくとも1つの他の接触フインガが帯状導体から分岐する分岐導体により形成されている。

請求項（抜粋）：

検査可能な膜圧力センサが熱可塑性プラスチツクから成る2つの一緒に積層される支持膜から構成され、第1の支持膜が半導体ポリマ層で被覆され、第2の支持膜が互いに隣接しかつそれぞれ両端で接続可能な2つの帯状導体で被覆され、これらの帯状導体が、空間的に区画されてセンサ素子を形成する範囲内に、接触することなく互いにかみ合う櫛状構造を持つているものにおいて、センサ素子(1,1′)内で両方の櫛状構造の接触フインガの少なくとも1つが帯状導体ループ(5,5′)により形成され、少なくとも1つの他の接触フインガが帯状導体から分岐する分岐導体(6,6′,8)により形成されていることを特徴とする、検査可能な膜圧力センサ。