特許

J-GLOBAL ID：200903012836812941

フッ素系エッチング剤からフッ化カルシウムを回収する方法

発明者： 大見 忠弘 ,  原田 宙幸 ,  三木 正博 ,  福留 敏郎 ,  前野 又五郎 ,  寺沢 則男 ,  恵藤 良弘 ,  阪田 正博
出願人/特許権者： 橋本化成株式会社 ,  日立プラント建設株式会社 ,  栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 尾関 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-289234
公開番号（公開出願番号）：特開平5-201726
出願日： 1991年10月07日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【目的】フッ化水素又はこれとフッ化アンモニウムを主成分とするエッチング剤から、未反応炭酸カルシウム及びシリカ含有量の極めて少ない高純度フッ化カルシウムを回収すること。【構成】上記エッチング剤に於けるフッ化アンモニウム/フッ化水素のモル当量比が1.0以下の組成域において、50°C以上の温度で炭酸カルシウムを反応せしめること。

請求項（抜粋）：

フッ化水素、又はフッ化水素およびフッ化アンモニウムを主成分とするエッチング剤から、フッ素をフッ化カルシウムとして回収する方法において、フッ化アンモニウム/フッ化水素のモル当量比が1.0以下の組成域において、50°C以上の温度で炭酸カルシウムを反応せしめて、未反応炭酸カルシウム含有率が約3%以下であり、シリカ含有率の少ない高純度フッ化カルシウムを回収することを特徴とするフッ化カルシウムを回収する方法。

IPC (2件)：

C01F 11/22 ,  H01L 21/308