特許
J-GLOBAL ID：200903012837234550

偏光ビームスプリッタ

発明者：
岡本 幹夫

岡本 幹夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-105342
公開番号（公開出願番号）：特開2001-350024
出願日： 1994年04月08日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：
【要約】【目的】 偏光分離多層膜面に入射する光束の入射角依存性が少なくかつ偏光分離比が高い、使用帯域幅が広い偏光ビームスプリッタを提供しようとするものである。【構成】 本発明の偏光ビームスプリッタは、透光性基体1上に形成された誘電体多層膜を有し、前記誘電体多層膜は2つの異なる設計基準波長λ1、λ2を有する第1の誘電体多層膜3と第2の誘電体多層膜4とからなり、第1及び第2の誘電体多層膜は、それぞれの基準波長λ1、λ2において光学的膜厚λ1/4、λ2/4の高屈折率物質11、21と低屈折率物質12、22とで構成された2層を基本周期としてn周期(nは任意の整数)積層した交互層13、23を備え、前記第1の誘電体多層膜の交互層13と第2の誘電体多層膜の交互層23が、互いに異なる種類の物質の組み合わせにより構成されている。
請求項（抜粋）：
透光性基体上に形成された誘電体多層膜を有する偏光ビームスプリッタにおいて、前記誘電体多層膜は2つの異なる設計基準波長λ1、λ2を有する第1の誘電体多層膜と第2の誘電体多層膜とからなり、第1及び第2の誘電体多層膜は、それぞれの基準波長λ1、λ2において光学的膜厚λ1/4、λ2/4の高屈折率物質と低屈折率物質とで構成された2層を基本周期としてn周期(nは任意の整数)積層した交互層と、前記交互層の両側に形成された光学的膜厚λ1/8、λ2/8の前記高屈折率物質または低屈折率物質のいずれか一方からなる薄膜調整層とを備え、前記第1の誘電体多層膜の交互層と第2の誘電体多層膜の交互層が、互いに異なる種類の物質の組み合わせにより構成されていることを特徴とする偏光ビームスプリッタ。
IPC (2件)：
G02B 5/30 ,  G02B 5/04
FI (4件)：
G02B 5/30 ,  G02B 5/04 A ,  G02B 5/04 B ,  G02B 5/04 D
Fターム (10件)：
2H042CA06 ,  2H042CA10 ,  2H042CA14 ,  2H042CA17 ,  2H049BA05 ,  2H049BA43 ,  2H049BB03 ,  2H049BB61 ,  2H049BC21 ,  2H049BC22
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-284705
  • 偏光ビームスプリッタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-070623   出願人：株式会社ニコン

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