特許
J-GLOBAL ID：200903012845901671
光走査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-243785
公開番号（公開出願番号）：特開平5-083487
出願日： 1991年09月24日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】小型且つ高精度な光走査装置を提供すること。【構成】光源としてのレーザ装置11からの光を偏向出射して被写体としてのバーコード17を走査する光偏向出射器15と、上記バーコード17からの反射光を検出する光検出器21とを、マイクロマシーニングによって同一のシリコン基板22上に一体的に形成する。
請求項（抜粋）：
光源と、該光源からの光を偏向出射して被写体を走査する光偏向出射部と、上記被写体からの反射光を検出する光検出器とを具備する光走査装置に於いて、少なくとも前記光偏向出射部と光検出器とを同一の半導体基板上に一体的に形成してなることを特徴とする光走査装置。
IPC (3件)：
H04N 1/04 104
, G02B 26/10 101
, G06K 7/10
