特許
J-GLOBAL ID：200903012852832391
外観検査方法および検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-105223
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311160
出願日： 1994年05月19日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】 偏光フィルムのような透明シートの表面に表面保護フィルムが貼付されていても、表面保護フィルムの欠陥に影響されずに透明シート内の欠陥である気泡や異物などを検出することができる外観検査方法、および検査装置を提供する。【構成】 透明シートの表面に紫外光線を照射して反射光を撮像し、一方、前記透明シートの表面に可視光線を照射して透過光を撮像し、得られた画像信号に画像処理を施して比較判定することによって被検査体としての透明シートのみの欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
透明シートの表面に紫外光線を照射し反射する紫外光線を撮像した画像と、前記透明シートの表面に可視光線を照射し透過する可視光線を撮像した画像とを、画像処理により比較解析することを特徴とする外観検査方法。
IPC (4件)：
G01N 21/89
, G01N 21/33
, G01N 21/88
, G06T 1/00
