特許

J-GLOBAL ID：200903012861726898

蒸着装置用窓

発明者： 滝 正佳
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-182420
公開番号（公開出願番号）：特開平5-025631
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：

【要約】【目的】 長時間の成膜作業をしても、蒸発粒子の付着の無いレーザPVD蒸着装置用窓。【構成】 透明材料からなる入射窓3を介して照射される集光された光エネルギ1が透過する透過孔を中心に有する第1のアパーチャ4と、第1のアパーチャ4よりターゲット11側に位置し第1のアパーチャ4を透過した光エネルギ1が透過する透過孔を中心に有する第2のアパーチャ5と、第1のアパーチャ4と第2のアパーチャ5の間にあって光エネルギ1の通路を挟むように設けられた偏向電極6、7とからなる。第2のアパーチャ5を通過して第1のアパーチャ4に向けて飛来する蒸発粒子10は、偏向電極6、7に電圧を印加することにより、飛行方向を曲げられるので、蒸発粒子10は第1のアパーチャ4に衝突し、蒸発粒子10は入射窓3に到達することがない。

請求項（抜粋）：

透明材料からなる入射窓と、前記入射窓を介して照射される集光された光エネルギが透過する透過孔を中心に有する第1のアパーチャと、前記第1のアパーチャよりターゲット側に位置し前記第1のアパーチャを透過した光エネルギが透過する透過孔を中心に有する第2のアパーチャと、前記第1のアパーチャと第2のアパーチャの間にあって光エネルギの通路を挟むように設けられた偏向電極とからなることを特徴とする蒸着装置用窓。