特許
J-GLOBAL ID：200903012864303580
微細ミラーアレイのミラー駆動方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-030796
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248334
出願日： 1996年02月19日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【課題】 微細ミラーアレイのミラー駆動方法及びその装置を提供すること。【解決手段】 複数のミラ-部材1が基板上にヒンジによりそれぞれ回転可能に支持されており、その基板の下にはミラ-部材1に対して磁界を形成する永久磁石3が取り付けられ、各ミラ-部材1の裏面にはコイル素子2,2 ́が形成される。映像信号に応じてミラ-部材1が選択され、選択されたミラ-部材1のコイル素子2,2 ́に電流が印加される。選択されたミラ-部材1はその電流が印加されたコイル素子2,2 ́と磁界の間に作用する電磁気力により回転される。したがって、そのミラ-部材アレイに照射される光が映像に変調される。このような電磁気力によるミラ-駆動方法の適用される微細ミラ-アレイは、簡単な構造で量産可能であり、特に安定した駆動特性を有する。
請求項（抜粋）：
それぞれ回転可能に支持されており、その裏面にコイルが取り付けられている複数のミラ-部材を有する微細ミラ-アレイのミラ-駆動方法において、前記複数のミラ-部材に対して磁界を加える第1の段階と、映像信号に応じて前記複数のミラ-部材を選択し、選択されたミラ-部材に電流を流す第2の段階とを含めて、前記磁界と電流の間に作用する電磁気力により各ミラ-部材が傾くように駆動することを特徴とする微細ミラ-アレイのミラ-駆動方法。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, G09F 9/37 303
, G09F 19/16
G02B 26/08 E
, G09F 9/37 303
, G09F 19/16
