特許
J-GLOBAL ID:200903012865688559
面発光型発光素子及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-005173
公開番号(公開出願番号):特開2002-208728
出願日: 2001年01月12日
公開日(公表日): 2002年07月26日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、光ファイバ通信用あるいは電子写真用の光源あるいはバーチャル・リアリティーなどに用いられる微少光源として、スポットサイズが小さく、且つ単一モードの光が得られる面発光型発光素子を提供するこを目的とする。【解決手段】少なくともn型窒化物半導体層、発光層およびp型窒化物半導体層からなる半導体層を有する面発光型発光素子であって、前記半導体層は少なくとも前記発光層から前記n型窒化物半導体層にかけて貫通された空洞部を有し、且つ前記空洞部の外壁は逆テーパー形状とする。
請求項(抜粋):
少なくともn型窒化物半導体層、発光層およびp型窒化物半導体層からなる半導体層を有する面発光型発光素子であって、前記半導体層は少なくとも前記発光層から前記n型窒化物半導体層にかけて貫通された空洞部を有し、且つ前記空洞部の外壁は逆テーパー形状であることを特徴とする面発光型発光素子。
FI (3件):
H01L 33/00 A
, H01L 33/00 C
, H01L 33/00 E
Fターム (10件):
5F041CA05
, 5F041CA12
, 5F041CA34
, 5F041CA40
, 5F041CA46
, 5F041CA65
, 5F041CA77
, 5F041CA83
, 5F041CA94
, 5F041FF06
引用特許:
出願人引用 (4件)
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スーパールミネッセントダイオード
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-085660
出願人:株式会社リコー
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半導体発光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-088892
出願人:株式会社東芝
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特開平1-110781
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半導体発光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-363783
出願人:京セラ株式会社
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審査官引用 (4件)