特許
J-GLOBAL ID：200903012869737660
界面熱抵抗測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295627
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116711
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 積層板間または薄膜間の界面熱抵抗をパルス加熱法によって正確に測定する。【解決手段】 第1物質のみから成る単層試料と、第2物質のみからなる単層試料とを積層した2層試料の積層板間または薄膜間の界面部分の界面熱抵抗を測定するに際して、第1物質のみからなる単層試料の表面をパルス加熱した後の温度応答と、第2物質のみからなる単層試料の表面をパルス加熱した後の温度応答を観測してそれぞれの熱拡散時間を実測する。次いで、第1物質の層1と第2物質の層2の積層により構成される2層試料において、当該2層試料の表面をパルス加熱し、そのときの裏面の温度応答を実測する。この実測結果と、2層試料間の界面熱抵抗が無いと仮定して温度応答を計算した結果との差を求めると、2層試料間の界面熱抵抗を求めることができる。
請求項（抜粋）：
第1物質よりなる層1と第2物質よりなる層2の積層により構成される2層試料間の界面熱抵抗を、2層試料の表面をパルス加熱し2層試料の裏面の温度応答を観測することにより測定することを特徴とする界面熱抵抗測定方法。
Fターム (14件)：
2G040AB08
, 2G040AB10
, 2G040BA08
, 2G040BA26
, 2G040CA02
, 2G040CA12
, 2G040CA23
, 2G040DA05
, 2G040DA13
, 2G040EA06
, 2G040EB02
, 2G040EC02
, 2G040HA08
, 2G040HA16
