特許

J-GLOBAL ID：200903012870646082

外観検査装置

発明者： 高橋 嘉裕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 林 恒徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-359871
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174418
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 ウェハの外観検査時間を短くする。【解決手段】 電動XYθステージ34には、複数の検査位置を有するウェハが載置される。電動XYθステージ34が検査位置へ移動後、デジタルカメラ31は、検査位置の画像を撮像する。搬送シーケンス処理部22は、画像の撮像終了後、デジタルカメラ31から表示部19への画像の転送と、電動XYθステージ34の次の検査位置への移動とを並行して行う。

請求項（抜粋）：

複数の検査位置を有する被検体が配置され、前記検査位置に移動可能なステージと、前記ステージが前記検査位置へ移動後、当該検査位置の画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段から転送された前記画像を表示する表示手段と、前記画像の撮像終了後、前記撮像手段から前記表示手段への前記画像の転送と、前記ステージの次の検査位置への移動とを並行して行う制御手段とを有することを特徴とする外観検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/00 H ,  G01B 11/00 D ,  G01B 11/00 C ,  H01L 21/66 J ,  G01B 11/24 K

Fターム (54件)：

2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF02 ,  2F065FF42 ,  2F065GG08 ,  2F065GG21 ,  2F065HH05 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL30 ,  2F065NN02 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT01 ,  2F065TT02 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BA05 ,  2G051BA20 ,  2G051BC01 ,  2G051CA04 ,  2G051DA01 ,  2G051DA08 ,  2G051EA19 ,  4M106AA01 ,  4M106BA07 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB18 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ07