硬質炭素膜

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-142101
公開番号（公開出願番号）：特開平6-212429
出願日： 1993年06月14日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：

【要約】【目的】優れた耐摩耗性と高い導電性とを併せ持つ硬質炭素膜を提供する。【構成】炭素、または炭素と水素を主成分とし、炭素、水素以外の1種類以上の不純物元素を含有する非晶質の硬質炭素膜において、室温での電気抵抗率が1×10-6Ω・cm以上1×102 Ω・cm以下である。

請求項（抜粋）：

炭素、または炭素と水素を主成分とし、炭素、水素以外の1種類以上の不純物元素を含有する非晶質の硬質炭素膜において、室温での電気抵抗率が1×10-6Ω・cm以上1×102 Ω・cm以下であることを特徴とする、硬質炭素膜。

IPC (6件)：

C23C 16/26 , C23C 14/06 , C23C 14/32 , C23C 14/34 , C23C 14/48 , C30B 29/04

引用特許：

出願人引用 (7件)

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審査官引用 (5件)

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