特許

J-GLOBAL ID：200903012884810934

感光性樹脂組成物

発明者： 山田 敏明 ,  伴 一 ,  池田 響
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-225192
公開番号（公開出願番号）：特開2001-048950
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】 新規な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (1) 多官能性シアン酸エステル化合物または該シアン酸エステルプレポリマー 100重量部に対し、(2) 熱硬化触媒 0.005〜5 重量部及び(3)光塩基発生剤 0.005〜20重量部を必須成分として添加してなる感光性熱硬化性型樹脂組成物。【効果】 紫外線により高感度で高解像度なパターン形成が可能であり、かつ、得られた塗膜は、耐熱性、密着性、耐マイグレーション性、吸湿及び耐プレッシャークッカー処理後の電気絶縁性に優れており、層間絶縁膜あるいは永久保護皮膜等として使用するのに適している。

請求項（抜粋）：

(1) 多官能性シアン酸エステル化合物または該シアン酸エステルプレポリマー 100重量部に対し、(2) 熱硬化触媒 0.005〜5 重量部及び(3)光塩基発生剤 0.005〜20重量部を必須成分として添加してなる感光性熱硬化性型樹脂組成物。

Fターム (13件)：

4J034AA04 ,  4J034AA05 ,  4J034JA21 ,  4J034JA41 ,  4J034KA01 ,  4J034KB04 ,  4J034KC08 ,  4J034KC35 ,  4J034KD02 ,  4J034KD11 ,  4J034KE02 ,  4J034RA07 ,  4J034RA14