光学測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津川友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-210897
公開番号（公開出願番号）：特開平9-053922
出願日： 1995年08月18日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】測定光をレンズを通して測定対象物に照射し、測定対象物からの反射光をレンズを通して検出部に導いて光学測定を行う場合に、レンズの表面反射光の影響を大幅に低減する。【解決手段】測定光を直線偏光化部12によって直線偏光光とし、フーリエ変換レンズ2、λ/4板8をこの順にを通して測定対象物1を照明し、測定対象物1からの反射光をλ/4板8、フーリエ変換レンズ2、偏光板10をこの順に通して受光部5に導き、この場合に、λ/4板8と偏光板10との相対関係を、フーリエ変換レンズ2の表面反射光の透過を阻止し、測定対象物1からの反射光の透過を許容するように設定した。

請求項（抜粋）：

レンズ(2)を介して測定光を測定対象物(1)に照射し、測定対象物(1)からの反射光をレンズ(2)を介して検出部(5)により検出することにより測定対象物(1)の性状を計測・検査する装置において、直線偏光光を発生する第1手段(12)と、レンズ(2)に入射する以前において、第1手段(12)により得られた直線偏光光を円偏光光にする第1の1/4波長板(7)と、レンズ(2)と測定対象物(1)との間において、測定対象物(1)に照射される測定光と測定対象物(1)からの反射光との双方が透過し得るように配置された第2の1/4波長板(8)と、レンズ(2)と検出部(5)との間において、測定対象物(1)からの反射光と、測定光のレンズ(2)表面での反射光との双方が透過し得るように配置された第3の1/4波長板(9)と、第3の1/4波長板(9)と検出部(5)との間において、測定対象物(1)からの反射光と、測定光のレンズ(2)表面での反射光との双方が透過し得るように配置された偏光素子(10)とを有し、測定光のレンズ(2)表面での反射光の偏波面が偏光素子(10)の偏光面と直角になるように第1の1/4波長板(7)、第2の1/4波長板(8)、第3の1/4波長板(9)および偏光素子(10)が配置されてあることを特徴とする光学測定装置。

IPC (6件)：

G01B 11/30 , G01N 21/01 , G01N 21/15 , G01N 21/47 , G01N 21/88 , H01L 21/66

FI (6件)：

G01B 11/30 C , G01N 21/01 Z , G01N 21/15 , G01N 21/47 Z , G01N 21/88 Z , H01L 21/66 J

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