特許
J-GLOBAL ID：200903012886944083
アルカリ現像性樹脂組成物及びこれを用いた硬化膜
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
成瀬 勝夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056397
公開番号（公開出願番号）：特開平9-241339
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：
【要約】【課題】 フルオレンヒドロキシプロピルアクリレート樹脂と多塩基性カルボン酸又はその無水物とを反応させる際にゲル状物の発生を可及的に抑制し、これによって欠陥のない良好な塗膜やカラーフィルター等を作製することができるアルカリ現像性樹脂組成物を提供する。また、このようなアルカリ現像性樹脂組成物を用いた光学材料用コーティング材料やカラーフィルター用材料、更にはこれらの材料を硬化させて得られるコーティング膜やカラーフィルター、更には絶縁膜材料を提供する。【解決手段】 未反応エポキシ基がエポキシ当量で1万以上であるフルオレンヒドロキシプロピルアクリレート樹脂と多塩基性カルボン酸又はその無水物とを反応させて得られた反応生成物であって、その30重量%溶液を5インチシリコンウエハ上に塗布した際に0.5μm以上の粒子数が1万未満であるアルカリ現像性樹脂組成物であり、また、このようなアルカリ現像性樹脂組成物と重合開始剤とを必須成分として含むコーティング材料やカラーフィルター用材料、あるいは絶縁膜材料である。
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)【化1】(但し、式中Rは水素原子又はメチル基の何れかを示し、nは0〜20の整数である)で表されるアクリレート樹脂であって、未反応エポキシ基がエポキシ当量で1万以上であるアクリレート樹脂と多塩基性カルボン酸又はその無水物とを反応させて得られた反応生成物であって、その30重量%溶液を5インチシリコンウエハ上に塗布した際に0.5μm以上の粒子数が1万未満であることを特徴とするアルカリ現像性樹脂組成物。
IPC (8件)：
C08F299/02 MRV
, C09D163/10 PDY
, G02B 5/20
, G03F 7/027 515
, H01L 23/29
, H01L 23/31
, C08G 59/17 NHG
, H05K 3/46
C08F299/02 MRV
, C09D163/10 PDY
, G02B 5/20
, G03F 7/027 515
, C08G 59/17 NHG
, H05K 3/46 T
, H01L 23/30
