特許

J-GLOBAL ID：200903012891449821

試料測定装置

発明者： 西方 健太郎 ,  西條 豊 ,  柿沼 繁 ,  青山 淳一 ,  大橋 聡史
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (2件)： 西村 竜平 ,  佐藤 明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-150952
公開番号（公開出願番号）：特開2007-322189
出願日： 2006年05月31日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：

【課題】作動距離(WD)を可及的に小さくすることである。【解決手段】エネルギ線EBを試料Wに照射することにより生じる光Lを測定する試料測定装置であって、エネルギ線EBを発生させるエネルギ線発生部21と、前記エネルギ線発生部21から発生したエネルギ線EBを収束して前記試料Wに照射する対物レンズ225と、前記エネルギ線EBが照射された前記試料Wから生じる光Lを集光するミラー面23と、を備え、前記対物レンズ225の少なくとも一部を、前記ミラー面23における前記エネルギ線入射側端部よりも前記試料側に設けていることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

エネルギ線を試料に照射することにより生じる光を測定する試料測定装置であって、 エネルギ線を発生させるエネルギ線発生部と、 前記エネルギ線発生部から発生したエネルギ線を収束して前記試料に照射する対物レンズと、 前記エネルギ線が照射された前記試料から生じる光を集光するミラー面と、を備え、 前記対物レンズの少なくとも一部を、前記ミラー面における前記エネルギ線入射側端部よりも前記試料側に設けていることを特徴とする試料測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/62 ,  G01L 1/00

FI (2件)：

G01N21/62 A ,  G01L1/00 B

Fターム (15件)：

2G043CA05 ,  2G043DA05 ,  2G043DA08 ,  2G043EA11 ,  2G043FA06 ,  2G043GA04 ,  2G043GB01 ,  2G043GB05 ,  2G043GB16 ,  2G043HA03 ,  2G043HA05 ,  2G043JA01 ,  2G043JA02 ,  2G043LA02 ,  2G043LA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 走査電子顕微鏡等のカソードルミネッセンス検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-353952   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ, 株式会社日立サイエンスシステムズ

審査官引用 (4件)

• カソードルミネッセンス専用測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-190313   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構
• 逆光電子分光用狭帯域高感度光検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-053822   出願人：広島大学長
• 走査電子顕微鏡等のカソードルミネッセンス検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-353952   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ, 株式会社日立サイエンスシステムズ
• 電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-222383   出願人：株式会社東芝