特許
J-GLOBAL ID:200903012893321083

積層圧電素子の製造方法及び製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-068857
公開番号(公開出願番号):特開2000-263798
出願日: 1999年03月15日
公開日(公表日): 2000年09月26日
要約:
【要約】【課題】 正確に動作する積層圧電素子を効率よく製造することができる積層圧電素子の製造方法及び製造装置を提供すること。【解決手段】 圧電材料1と電極2とを交互に積層させた積層圧電素子ブロック3を、積層方向に沿って切削するための切削手段8を有する積層圧電素子10の製造装置50において、前記積層圧電素子10の切削面10aに切削したときに生じる前記電極2間の短絡部12を溶断するため、前記電極2に出力電圧Viを供給するための電圧発生部20と、前記電極2間に短絡部12の短絡抵抗値Rsを測定するため、前記積層圧電素子10に供給されている測定電圧Vr検出する電圧検出部30と、前記電圧検出部30が測定した測定電圧Vrに基づいて前記短絡抵抗値Rsを測定し、前記短絡抵抗値Rsにより前記電圧発生部20の出力電圧Viを制御する制御部40とを有する。
請求項(抜粋):
圧電材料と電極とを交互に積層した圧電素子ブロックを、前記積層方向に沿って回転可能な切削手段により切削するようにした積層圧電素子の製造方法において、前記電極に電圧を印加して、前記切削したときに生じる前記電極間の短絡部を溶断することを特徴とする積層圧電素子の製造方法。
IPC (4件):
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/22
FI (3件):
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/22 Z
Fターム (9件):
2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG48 ,  2C057AP16 ,  2C057AP22 ,  2C057AP82 ,  2C057AP90 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許:
審査官引用 (3件)

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