特許

J-GLOBAL ID：200903012903114316

走査形電子顕微鏡

発明者： 戸所 秀男 ,  福原 悟 ,  市橋 幹雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 磯村 雅俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-321879
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047335
出願日： 1982年11月08日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】 試料からの2次電子を偏向することなく、正しい信号を検出できるようにするとともに、ワ-クディスタンスを小さくして、高倍率の像を得ることができるようにする。【構成】 従来の第1の集束レンズと、試料に隣接された第2の集束レンズを設け、その間でかつ偏向器より下方に2次電子の検出器を設ける。また、低分解能の機能検査のために、第1の集束レンズを動作させ、また高分解能の形態検査のために、第1と第2の集束レンズを動作させる。さらに、永久磁石で形成され、真空外部の操作により着脱自在に構成された第2の集束レンズを設ける。

請求項（抜粋）：

電子ビ-ムを集束する第1の集束レンズ、該第1の集束レンズの下方でかつ試料に隣接して配置された第2の集束レンズ、および上記試料より放射される2次電子を取り出すため、上記第1、第2の集束レンズの間に配置され、かつ上記電子ビ-ムを偏向する偏向器の下方に配置された2次電子検出器を具備することを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (6件)：

H01J 37/244 ,  G01R 31/302 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/143 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66