特許

J-GLOBAL ID：200903012912085370

電圧制御発振器

発明者： 津々見 修司 ,  花嶋 直之 ,  米澤 政 ,  疋田 和康
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-071666
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270939
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 VHF〜SHF帯域に対応し、広帯域可変、高安定の電圧制御発振器を提供する。【解決手段】 半導体基板51と、半導体基板上に形成された圧電体薄膜53と、圧電体薄膜上に形成された導電性膜54とを備える圧電共振子を用いた電圧制御発振器。圧電体薄膜はチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)薄膜又はチタン酸鉛(PT)薄膜よりなる。【効果】 PZT及びPTは、電気機械結合係数k2 が大きく、かつQ値が大きく、しかも温度特性が良好であるため、PZT薄膜又はPT薄膜を形成した圧電共振子を用いることにより、VHF〜SHF帯域に対応し、広帯域可変、高安定の電圧制御発振器を提供することができる。

請求項（抜粋）：

半導体基板と、該半導体基板上に形成された圧電体薄膜と、該圧電体薄膜上に形成された導電性膜とを備える圧電共振子を用いた電圧制御発振器において、該圧電体薄膜がチタン酸ジルコン酸鉛薄膜又はチタン酸鉛薄膜であることを特徴とする電圧制御発振器。

IPC (5件)：

H03B 5/30 ,  H03B 5/12 ,  H03H 3/10 ,  H03H 9/17 ,  H03H 9/25

FI (5件)：

H03B 5/30 A ,  H03B 5/12 G ,  H03H 3/10 ,  H03H 9/17 F ,  H03H 9/25 C