変位検出機能を備えたプレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：笹島富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-009824
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218857
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】薄型及び小型で且つミラーの変位角を検出できるガルバノミラーを提供する。【構成】シリコン基板2に、可動板5と該可動板5を軸支するトーションバー6とを半導体素子製造技術で一体形成する。可動板5側の平面コイル7に流す駆動電流とガラス基板3,4側の永久磁石10A,10B及び11A,11Bによる磁気力によって可動板5を介して全反射ミラー8を駆動する。また、シリコン基板2の上下に結合するガラス基板3,4のうちの下側ガラス基板4に、検出コイル12A,12Bを設け、平面コイル7に、駆動電流に重畳させて検出電流を流すことにより、この検出電流に基づく平面コイル7と検出コイル12A,12Bとの間の相互インダクタンスの変化によってミラーの変位角検出を行う。また、このガルバノミラーを半導体素子の製造プロセスによって製造する。

請求項（抜粋）：

半導体基板に、平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面周縁部に可動板駆動用電流と変位検出用電流とを通電可能な平面コイルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設ける一方、半導体基板の下面に下側絶縁基板を設け、半導体基板の上面には前記反射鏡への外部からの入射光及び外部への反射光が通過可能な上側絶縁基板を設け、前記トーションバーの軸方向と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界を作用させる互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基板に固定する構成のプレーナー型ガルバノミラーであって、前記下側絶縁基板側に、前記平面コイルと電磁結合可能で前記可動板の変位を検出するための複数の検出コイルを設け、これら検出コイルは、前記トーションバーに対して略対称位置に配置される構成であることを特徴とする変位検出機能を備えたプレーナー型ガルバノミラー。

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