特許
J-GLOBAL ID：200903012914061125
電子線装置およびスペーサの製造方法、並びに電子線装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-037454
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306510
出願日： 2000年02月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 電子線装置の気密容器内に設けるスペーサに好適に膜を形成し得るようにする。【解決手段】 内部に電子放出素子1012を含む気密容器と、気密容器内に設けられるスペーサ1020とを有する電子線装置の製造方法であって、スペーサ1020となるスペーサ基板に膜を設ける被膜工程を有しており、該被膜工程は、液状の膜材料を放出部から所定の方向に放出して前記スペーサ基板の前記放出部に面する面のうちの一部に付与する付与工程を含むことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
内部に電子放出素子を含む気密容器と、該気密容器内に設けられるスペーサとを有する電子線装置の製造方法であって、前記スペーサとなるスペーサ基板に膜を設ける被膜工程を有しており、該被膜工程は、液状の膜材料を放出部から所定の方向に放出して前記スペーサ基板の前記放出部に面する面のうちの一部に付与する付与工程を含むことを特徴とする電子線装置の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/24
, H01J 5/03
, H01J 29/87
, H01J 31/12
H01J 9/24 A
, H01J 5/03
, H01J 29/87
, H01J 31/12 C
