特許
J-GLOBAL ID：200903012924360252
光波干渉装置の被検体ポジショニング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-095210
公開番号（公開出願番号）：特開平10-274505
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：
【要約】【課題】 可干渉距離の短い光を用いた光波干渉装置において、所定のフィルタを光路内に挿入配置することにより、被検面を干渉可能範囲内の最適位置にポジショニングするのに要する操作時間を大幅に短縮する。【解決手段】 ポジショニングの際、ビームスプリッタ3と撮像装置6の撮像面6aとの間の光路内に、干渉フィルタ部および光減衰フィルタ部を有するフィルタ7を挿入配置し、高速回転させる。そして、まず、干渉フィルタ部の透過光による干渉縞により、干渉可能範囲L′内へのポジショニングを行い、次に、光減衰フィルタの透過光による干渉縞により、干渉可能範囲L内へのポジショニングおよび最適位置へのポジショニングを行う。
請求項（抜粋）：
可干渉距離の短い光源からの光を2系に分割し、一方を被検体の被検面上に、他方を参照面上に照射し、該被検面からの被検光と該参照面からの参照光の干渉により生じる干渉縞を観察し、該観察結果に基づき該被検面の表面形状を測定する光波干渉装置において、前記被検面の光軸方向の位置決めを行う被検体ポジショニング装置であって、前記光源と前記光の分割位置との間または該分割位置と前記干渉縞の形成位置との間の光路内に、干渉フィルタ部および光減衰フィルタ部を有するフィルタが挿入配置されてなることを特徴とする光波干渉装置の被検体ポジショニング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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