特許

J-GLOBAL ID：200903012929750008

電力印加装置および電力印加方法

発明者： 北畠 顕弘 ,  山田 敬治
出願人/特許権者： 三容真空工業株式会社
代理人 (1件)： 倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-315650
公開番号（公開出願番号）：特開2000-144416
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 高い周波数の出力波を用いる場合においても、放電インピーダンスを低く抑えることができ、位相の制御を容易とすることができるとともに、成膜時におけるダメージを防止することができる電力印加装置とその装置を用いた電力印加方法を提供する。【解決手段】単一の発振器、分配器および電力増幅器と、これらの電力増幅器のうち半数の電力増幅器の前段に備えた逓倍器と、この逓倍器を介して電力増幅器から出力された第1の電力出力波と、逓倍器を介さず電力増幅器から出力された第2の電力出力波とを、それぞれインピーダンス整合後、合成し、この合成出力波に基づく電力を所定のターゲットに供給する合成器とを備える。

請求項（抜粋）：

単一の発振器と、この単一の発振器からの出力波を電力を供給すべきターゲットの数の偶数の分配数に分配する分配器と、この分配器によって分配された出力波に基づいてそれぞれその出力波と同一周波数の電力を出力する複数の電力増幅器と、これらの電力増幅器のうち半数の電力増幅器の前段に備えられ、上記分配された出力波をそれぞれ当該出力波の周波数の整数倍に倍加する逓倍器と、この逓倍器を介して上記電力増幅器から出力された第1の電力出力波と、上記逓倍器を介さず上記電力増幅器から出力された第2の電力出力波とを、それぞれインピーダンス整合させ、インピーダンス整合された第1および第2の電力出力波を合成し、この合成出力波に基づく電力をそれぞれ所定のターゲットに供給する複数の合成器とを備えてなる電力印加装置。

Fターム (7件)：

4K029AA09 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC16 ,  4K029DC27 ,  4K029DC35 ,  4K029EA09