特許
J-GLOBAL ID：200903012930795171
フリンジスキャニング干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-165172
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351812
出願日： 1998年06月12日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】迷光による影響を減らし、測定を安定に精度よく行なうことのできるフリンジスキャニング干渉計を提供すること。【解決手段】光源の強度を下記の周波数fで変調するフリンジスキャニング干渉計。【式6】(但し、c:光速度OPD:測定光路と参照光路との光路差n:整数)
請求項（抜粋）：
光源の波長を微小変化させてフリンジスキャニングにより位相検出を行なう干渉計において、前記光源の強度を下記の周波数fで変調することを特徴とするフリンジスキャニング干渉計。【式1】(但し、c:光速度OPD:測定光路と参照光路の光路差n:整数)
IPC (2件)：
FI (2件)：
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