特許

J-GLOBAL ID：200903012937076383

圧電共振子および圧電フィルタ

発明者： 柴田 明彦 ,  竹内 雅樹 ,  塚井 紀充
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-262838
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076823
出願日： 2000年08月31日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 振動漏れの対策、不要振動の対策および歩留まりを同時に満足させることができる圧電共振子を提供する。【解決手段】 圧電共振子10は{100}Si基板12を含む。{100}Si基板12の中央には、SiO2 からなる誘電体層14aでダイヤフラム部16が形成される。誘電体層14aの上には、厚み縦振動または厚みすべり振動n次モードの振動手段として、下部電極18a、圧電体層20および上部電極18bが形成される。下部電極18aおよび上部電極18bにおいて互いに対向する部分は、下部電極18aおよび上部電極18bが対向する部分の厚さtの20/n倍以上の半径の円を内包する正方形状に形成される。下部電極18aおよび上部電極18bが対向する部分の端部から{100}Si基板12の端部までの最短距離xは、2t/n≦x≦10tである。

請求項（抜粋）：

ダイアフラム部、前記ダイアフラム部を周辺から支持するための基板、および前記ダイアフラム部に形成され、少なくとも1対の対向する電極を有するn次モード(nは自然数)の厚み縦振動または厚みすべり振動を利用した振動手段を含む圧電共振子において、前記電極において互いに対向する部分の形状が、前記電極が対向する部分の厚さtの20/n倍以上の半径の円またはその円を内包する形状であり、前記電極が対向する部分の端部から前記基板の端部までの最短距離xが2t/n≦x≦10tであることを特徴とする、圧電共振子。

IPC (3件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H03H 9/02

FI (4件)：

H03H 9/17 F ,  H03H 9/02 N ,  H01L 41/08 L ,  H01L 41/08 U

Fターム (10件)：

5J108AA01 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD01 ,  5J108DD02 ,  5J108DD06 ,  5J108FF02 ,  5J108FF04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• チップ型圧電部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-327685   出願人：住友金属工業株式会社
• エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-155283   出願人：株式会社村田製作所
• 特公平1-048694
  
• 特公平3-056013