特許
J-GLOBAL ID:200903012944794860

ブラスト加工用研磨材及び当該研磨材を用いたブラスト加工方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 覚
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-048304
公開番号(公開出願番号):特開平9-216162
出願日: 1996年02月09日
公開日(公表日): 1997年08月19日
要約:
【要約】【課題】 ブラスト加工時において、研磨材及びワークの加工面に静電気を発生させないようにする。【解決手段】 研磨材1を、その中心部に設けられるものであって、ソリッド状のガラスビーズからなるコア部11と、当該コア部11の外表面部にシラン等が薄膜状にコーティングされることによって形成される被覆層15と、からなるようにする。このような研磨材1をブラストガン5から高速度で噴射させることによって、ワーク9のブラスト加工を行なわせるようにする。研磨材1の吹き付けられるワーク9は、基板99の上面に低融点ガラス層95が設けられ、その上面(表面)上に、レジスト膜91が設けられるようになっているものである。このような構成からなるワーク9の上記低融点ガラス層95のところを、上記研磨材1をもって研削(ブラスト加工)する。
請求項(抜粋):
ブラスト加工装置に用いられる研磨材において、中身の充実した状態(ソリッド状態)のガラスビーズを基礎にして形成されるコア部と、当該コア部の外表面部に形成されるものであってシラン及び表面活性剤のうちのいずれか一方のものにて形成される被覆層と、からなるようにしたことを特徴とするブラスト加工用研磨材。
IPC (3件):
B24C 11/00 ,  B24C 1/04 ,  C09K 3/14 550
FI (3件):
B24C 11/00 D ,  B24C 1/04 F ,  C09K 3/14 550 C

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