特許

J-GLOBAL ID：200903012949578880

ウェーハ用ラップ機の定盤修正キャリヤ

発明者： 吉田 裕一 ,  高木 正治
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003503
公開番号（公開出願番号）：特開平9-193002
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：

【要約】【課題】 定盤の表面形状の不均一性に与える大きな要因である研磨液供給を廃止するとともに、所定の修正キャリヤを用いて定盤の形状修正を行ない、修正時間を大幅に短縮し、高精度の平坦度を有する定盤の表面形状を得ること。【解決手段】 ウェーハ用ラップ機の上下定盤11,12の修正に使用される定盤修正キャリヤ20を、高硬度な材質の基板21の表面に砥粒22を固着したものにより構成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

上定盤(11)と下定盤(12)との間にウェーハを挟み、該ウェーハを遊星歯車機構(G)により自転及び公転させながらラッピング加工を施すようにしたウェーハ用ラップ機に用いる定盤修正キャリヤ(20)を、高硬度な材質の基板(21)の表面に砥粒(22)を固着したものにより構成したことを特徴とするウェーハ用ラップ機の定盤修正キャリヤ。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 321 H