特許

J-GLOBAL ID：200903012952127024

ウエハの研磨盤

発明者： 林 智雄
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-071252
公開番号（公開出願番号）：特開平11-254318
出願日： 1998年03月06日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 表面が平坦な傷のない半導体ウエハを製造することが可能な研磨盤の提供。【解決手段】 本体基台Aに設けたウエハ3を吸着するバキュームチャックを備えた水平方向に回転可能な作業テーブル4と、本体ケーシング6に据えたレール16へ昇降可能に担持させた昇降機構7と、スピンドル軸8に固定のチャック機構11に固定された砥石5とを備える、スピンドル軸を作業テーブルの上方へ昇降可能に配設したウエハの研磨盤1において、昇降機構は、前面に半円筒状の凹部19を有し、スピンドル軸ケーシングを昇降機構に取り付ける取付部材12はこの昇降機構の半円筒状の凹部と若干の隙間を残して嵌合する半円筒状の凸部18を有し、取付部材には、その先端が昇降機構の前面当接するスピンドル軸傾斜調整ボルト15,15′が取付部材を穿孔して得た空間部に備えられた皿バネの中央部を貫通して備えられ、固定部材の雌ネジにより据え付けられている。

請求項（抜粋）：

本体基台と、この本体基台に設けたウエハを吸着するバキュームチャックを備えた水平方向に回転可能な作業テーブルと、該作業テーブルへ並設させた本体ケーシングと、この本体ケーシングに据えたレールへ昇降可能に担持させた昇降機構と、該昇降機構へ回転自在なスピンドル軸を備え若干の上下動可能に担持させたスピンドル軸ケーシングと、スピンドル軸に固定されたチャック機構と、該チャック機構に固定された砥石とを備える、前記スピンドル軸を作業テーブルの上方へ昇降可能に配設したウエハの研磨盤において、昇降機構は、前面に半円筒状の凹部を有し、スピンドル軸ケーシングを昇降機構に取り付ける取付部材はこの昇降機構の半円筒状の凹部と若干の隙間を残して嵌合する半円筒状の凸部を有し、取付部材には、その先端が昇降機構の前面当接するスピンドル軸傾斜調整ボルトが取付部材を穿孔して得た空間部に備えられた皿バネの中央部を貫通して備えられ、その傾斜調整ボルトの後端雄ネジ部分は、固定部材の雌ネジにより据え付けられていることを特徴とするウエハの研磨盤。