特許

J-GLOBAL ID：200903012953250768

金属ミラーおよびその製造方法

発明者： 塚本 征徳 ,  坂本 淳一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-063353
公開番号（公開出願番号）：特開平8-234004
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 反射率が高くしかも経時的に劣化するおそれのない金属ミラーを実現する。【構成】 基板1の表面にSiOの下地層2を設け、その上に第1のCr膜3、Agの反射膜4、第2のCr膜5、およびAl2 O3 膜6aとSiO2 膜6aからなる保護層6を積層する。第1のCr膜3は、下地層2と反射膜4の付着性を強化し、欠陥のない反射膜4を成膜するのに役立つ。また、第2のCr膜5は、反射膜4の表面を平滑化するとともに保護層6の膜質を緻密にする働きをする。

請求項（抜粋）：

アンダーコートを介して基板の表面に成膜された金属の反射膜と、該反射膜の上に積層されたオーバーコートを有し、前記アンダーコートと前記オーバーコートのそれぞれが、膜厚0.1〜10nmのCr膜を有し、これらが前記反射膜に接していることを特徴とする金属ミラー。

IPC (4件)：

G02B 5/08 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/20 ,  G02B 1/10

FI (4件)：

G02B 5/08 A ,  C23C 14/08 N ,  C23C 14/20 A ,  G02B 1/10 Z