特許

J-GLOBAL ID：200903012959232923

位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 山根 幸男 ,  高嶋 常雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-247501
公開番号（公開出願番号）：特開平11-074186
出願日： 1997年08月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】 特別な検出手段を追加することなく、微動も含めたステージの移動動作に要する時間を短縮する。【解決手段】 基板を保持する保持面を定盤に対してXYの各軸方向に移動可能なXYテーブルと、該XYテーブルに搭載され前記基板をXYの各軸回りに回転可能でかつZ方向に移動可能な回転テーブルと、前記XYテーブルおよび前記回転テーブルを駆動制御する制御手段と、前記基板の面位置を検出する面位置検出手段とを備えた位置決め装置において、前記XYテーブルの移動時に生じる前記基板の面位置の変化量を前記制御手段に予め保持しておき、これを用いて前記面位置検出時における前記回転テーブルのXY各軸回りの回転量を最終的な位置決め時の回転量とは独立して補正駆動する。

請求項（抜粋）：

基板を保持する保持面を定盤に対してXYの各軸方向に移動可能なXYテーブルと、該XYテーブルに搭載され前記基板をXYの各軸回りに回転可能でかつZ方向に移動可能な回転テーブルと、前記XYテーブルおよび前記回転テーブルを駆動制御する制御手段と、前記基板の面位置を検出する面位置検出手段とを備えた位置決め装置において、前記XYテーブルの移動時に生じる前記基板の面位置の変化量を前記制御手段に予め保持しておき、これを用いて前記面位置検出手段の検出時における前記回転テーブルのXY各軸回りの回転量を最終的な位置決め時の回転量とは独立して補正駆動することを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 516 B ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K