特許
J-GLOBAL ID:200903012963699739
走査型レーザ顕微鏡
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-330710
公開番号(公開出願番号):特開2002-131645
出願日: 2000年10月30日
公開日(公表日): 2002年05月09日
要約:
【要約】【課題】 ダイナミックな経時測定に対応できる走査型レーザ顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料33にレーザ光を走査するとともに、試料33からの光を光電変換器27a、27bで受光する走査型レーザ顕微鏡であって、試料33に走査されるレーザ光を変調するAOTF14を光電変換器27a、27bにより取得される走査画像の1画素ごとに制御する制御回路44を有し、制御回路44は、走査画像に対応する画素数で各画素ごとにレーザ光の変調情報が設定されたレーザ照射領域パターン画像を複数記憶するパターン記憶メモリ44aを有し、パターン記憶メモリ44aに記憶された各レーザ照射領域パターン画像を読み出し、各画素ごとの変調情報に基づいてAOTF14を制御する。
請求項(抜粋):
試料面にレーザ光を走査するとともに、前記試料面からの光を受光するような走査型レーザ顕微鏡において、前記試料面に走査されるレーザ光を変調する光変調手段と、前記試料面からの光の受光により取得される走査画像の1画素ごとに前記光変調手段を制御する制御手段と、を具備し、前記制御装置は、前記走査画像に対応する画素数で各画素ごとにレーザ光の変調情報が設定された制御パターンを複数記憶する記憶手段を有し、この記憶手段に記憶された制御パターンを読み出し、各画素ごとの変調情報に基づいて前記光変調手段を制御するとともに、任意のタイミングで前記制御パターンを変更制御することを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
IPC (7件):
G02B 21/00
, G01N 21/27
, G01N 21/64
, G02B 21/06
, G02F 1/11 505
, H01S 3/00
, H01S 3/101
FI (7件):
G02B 21/00
, G01N 21/27 E
, G01N 21/64 E
, G02B 21/06
, G02F 1/11 505
, H01S 3/00 F
, H01S 3/101
Fターム (54件):
2G043AA03
, 2G043CA05
, 2G043DA06
, 2G043EA01
, 2G043FA01
, 2G043FA02
, 2G043HA01
, 2G043HA05
, 2G043HA11
, 2G043JA01
, 2G043KA09
, 2G043LA01
, 2G043NA05
, 2G043NA06
, 2G059BB12
, 2G059DD13
, 2G059EE02
, 2G059EE07
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059FF03
, 2G059FF04
, 2G059GG01
, 2G059GG07
, 2G059JJ02
, 2G059JJ07
, 2G059JJ11
, 2G059JJ17
, 2G059JJ23
, 2G059JJ30
, 2G059KK01
, 2G059MM09
, 2G059MM10
, 2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC28
, 2H052AC34
, 2H052AF01
, 2H052AF02
, 2H079AA04
, 2H079AA12
, 2H079BA01
, 2H079BA03
, 2H079CA16
, 5F072HH03
, 5F072KK05
, 5F072KK11
, 5F072KK30
, 5F072MM04
, 5F072MM05
, 5F072YY01
, 5F072YY20
引用特許:
審査官引用 (1件)
-
光走査型顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-018366
出願人:株式会社ニコン
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