特許
J-GLOBAL ID:200903012967767518

光学素子およびそれを用いた光学装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-147721
公開番号(公開出願番号):特開2001-330718
出願日: 2000年05月19日
公開日(公表日): 2001年11月30日
要約:
【要約】【課題】 2つの異なる波長を出射する半導体レーザ素子を用いた光学装置の光学系を簡単に構成する。【解決手段】 シリコンなどの基板2の表面にフォトリソグラフィー等により所定の回折格子を形成し第2の反射面6とした後、透明膜3を平坦に形成し再度フォトリソグラフィー等の技術を用いて所定の回折格子を形成することにより第1の反射面5とする。さらにその上に誘電体を所定の膜厚に積層した多層膜を形成し、波長分離膜4を形成する。
請求項(抜粋):
第1の反射面と第2の反射面とを有し、前記第1の反射面に波長分離膜が形成され、前記第1の反射面と前記第2の反射面との少なくとも一方に回折格子が形成された光学素子。
IPC (5件):
G02B 5/18 ,  G02B 5/28 ,  G11B 7/12 ,  G11B 7/135 ,  H01S 5/40
FI (5件):
G02B 5/18 ,  G02B 5/28 ,  G11B 7/12 ,  G11B 7/135 A ,  H01S 5/40
Fターム (39件):
2H048GA07 ,  2H048GA19 ,  2H048GA24 ,  2H048GA32 ,  2H048GA61 ,  2H049AA03 ,  2H049AA07 ,  2H049AA13 ,  2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA44 ,  2H049AA57 ,  2H049AA64 ,  2H049AA66 ,  5D119AA02 ,  5D119AA04 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119CA09 ,  5D119DA01 ,  5D119DA05 ,  5D119EA02 ,  5D119EA03 ,  5D119EC45 ,  5D119EC47 ,  5D119FA08 ,  5D119JA13 ,  5D119JA26 ,  5D119KA02 ,  5D119LB07 ,  5D119NA05 ,  5F073AB06 ,  5F073AB21 ,  5F073AB25 ,  5F073AB27 ,  5F073AB29 ,  5F073BA05 ,  5F073FA02 ,  5F073FA06
引用特許:
審査官引用 (2件)

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