特許
J-GLOBAL ID:200903012967767518
光学素子およびそれを用いた光学装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-147721
公開番号(公開出願番号):特開2001-330718
出願日: 2000年05月19日
公開日(公表日): 2001年11月30日
要約:
【要約】【課題】 2つの異なる波長を出射する半導体レーザ素子を用いた光学装置の光学系を簡単に構成する。【解決手段】 シリコンなどの基板2の表面にフォトリソグラフィー等により所定の回折格子を形成し第2の反射面6とした後、透明膜3を平坦に形成し再度フォトリソグラフィー等の技術を用いて所定の回折格子を形成することにより第1の反射面5とする。さらにその上に誘電体を所定の膜厚に積層した多層膜を形成し、波長分離膜4を形成する。
請求項(抜粋):
第1の反射面と第2の反射面とを有し、前記第1の反射面に波長分離膜が形成され、前記第1の反射面と前記第2の反射面との少なくとも一方に回折格子が形成された光学素子。
IPC (5件):
G02B 5/18
, G02B 5/28
, G11B 7/12
, G11B 7/135
, H01S 5/40
FI (5件):
G02B 5/18
, G02B 5/28
, G11B 7/12
, G11B 7/135 A
, H01S 5/40
Fターム (39件):
2H048GA07
, 2H048GA19
, 2H048GA24
, 2H048GA32
, 2H048GA61
, 2H049AA03
, 2H049AA07
, 2H049AA13
, 2H049AA33
, 2H049AA37
, 2H049AA44
, 2H049AA57
, 2H049AA64
, 2H049AA66
, 5D119AA02
, 5D119AA04
, 5D119AA38
, 5D119BA01
, 5D119CA09
, 5D119DA01
, 5D119DA05
, 5D119EA02
, 5D119EA03
, 5D119EC45
, 5D119EC47
, 5D119FA08
, 5D119JA13
, 5D119JA26
, 5D119KA02
, 5D119LB07
, 5D119NA05
, 5F073AB06
, 5F073AB21
, 5F073AB25
, 5F073AB27
, 5F073AB29
, 5F073BA05
, 5F073FA02
, 5F073FA06
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭62-047005
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光学レンズとその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-001260
出願人:松下電器産業株式会社
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