特許
J-GLOBAL ID：200903012975243102
ダイシング工程の品質検査方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-208373
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078364
出願日： 1994年09月01日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】ダイシング工程の品質検査の自動化及びダイシング加工の高能率化を図ることができ、更にはウェーハ品質を向上させることのできるダイシング工程の品質検査方法及びその装置を提供する。【構成】第1の撮像装置26で撮像したウェーハ20のカッティング前の加工前画像データと、第2の撮像装置34で撮像した前記ウェーハ20のカッティング後の加工後画像データを比較器42で比較処理し、処理した結果に基づいて加工不良、例えば、チッピングやコンタミ或いはブレード破損で生じたウェーハ20面上の不良チップを抽出する。即ち、加工前画像データを参照して加工後画像データと比較し、加工前画像データと異なる部分を加工不良部分と見做すことにより、加工不良を確実に把握することができる。
請求項（抜粋）：
切断刃でウェーハを切溝に沿って格子状にカッティングして多数のチップに分離するダイシング工程の品質検査方法に於いて、カッティング前のウェーハの加工前画像データを撮像し、前記撮像した加工前画像データを記憶し、カッティング後のウェーハの加工後画像データを撮像し、前記加工前画像データと加工後画像データを比較処理し、前記比較処理した結果に基づいて加工不良で生じたウェーハ面上の不良チップを抽出することを特徴とするダイシング工程の品質検査方法。
IPC (3件)：
H01L 21/301
, H01L 21/66
, B23Q 17/24
