特許

J-GLOBAL ID：200903012986268190

均熱板及び画像表示装置の製造方法

発明者： 有賀 亨 ,  黒川 岳 ,  室伏 康信
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063864
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260308
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 画像表示装置を構成する基板の均熱性を高め、基板の温度分布を均一化する。【解決手段】 真空チャンバー5内に設置され、真空チャンバー5内に搬入される平板状の基板4の温度を所定値に設定するための均熱板であって、金属製のプレート1と、プレート1に熱を加える熱源と、プレート1上に設置された複数のバネ3とを有し、複数のバネ3上に平板状の基板4を載置するようにしている。複数のバネ3によって、プレート1と基板4との熱的接触点の数を増やすことができ基板4の均熱性を高めることができる。

請求項（抜粋）：

真空チャンバー内に設置され、真空チャンバー内に搬入される平板状の基板の温度を所定値に設定するための均熱板であって、金属製のプレートと、前記プレートに熱を加える熱源と、前記プレート上に設置された複数のバネとを有し、前記複数のバネ上に前記平板状の基板を載置するようにしたことを特徴とする均熱板。

IPC (5件)：

H01J 9/02 ,  G09F 9/00 304 ,  G09F 9/00 350 ,  H05B 3/00 310 ,  H05B 3/72

FI (5件)：

H01J 9/02 E ,  G09F 9/00 304 A ,  G09F 9/00 350 Z ,  H05B 3/00 310 D ,  H05B 3/72

Fターム (15件)：

3K058AA86 ,  3K058BA00 ,  3K058CA23 ,  3K058CA69 ,  3K058CC05 ,  3K058GA03 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092SS12 ,  3K092SS13 ,  3K092SS14 ,  3K092VV22 ,  5G435AA12 ,  5G435AA17 ,  5G435KK05