特許

J-GLOBAL ID：200903012986337710

エッチング物の製造方法およびその装置

発明者： 佐合 誠司
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-149074
公開番号（公開出願番号）：特開2001-329385
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】【課題】 すじむらの生じにくいエッチング物の製造装置を提供する。【解決手段】 連続走行する金属板1の両面に感光性樹脂塗布装置で感光性樹脂を塗布し、シャドウマスクパターンを感光性樹脂が塗布された金属板1の両面に露光装置で焼き付け露光する。焼き付け露光した感光性樹脂を現像し現像装置で乾燥し、現像された金属板1の下面をエッチング装置でエッチングする。エッチングされた金属板のエッチングが既にされている面にコーティングローラを金属板1の走行方向に対して対向する方向に回転させながら、耐エッチング保護膜を走行方向に対して垂直方向に往復移動させて耐エッチング保護膜を塗布する。

請求項（抜粋）：

連続走行する金属板の一面に耐エッチング保護膜を走行方向に対して垂直に移動しながら塗布する耐エッチング保護膜塗布工程と、この一面に耐エッチング保護膜が塗布された金属板の少なくとも他面に感光性樹脂を塗布する感光性樹脂塗布工程と、パターンをこの感光性樹脂が塗布された金属板の他面に焼き付け露光する露光工程と、この焼き付け露光した感光性樹脂を現像し乾燥する現像工程と、この現像された金属板をエッチングするエッチング工程とを具備することを特徴とするエッチング物の製造方法。

IPC (3件)：

C23F 1/00 ,  H01J 9/14 ,  G03F 7/40 521

FI (4件)：

C23F 1/00 C ,  H01J 9/14 G ,  H01J 9/14 H ,  G03F 7/40 521

Fターム (12件)：

2H096AA27 ,  2H096CA20 ,  2H096EA00 ,  2H096GA00 ,  2H096HA13 ,  2H096HA17 ,  2H096JA04 ,  4K057WA11 ,  4K057WM18 ,  4K057WN03 ,  5C027HH07 ,  5C027HH11