特許

J-GLOBAL ID：200903012989457970

三次元形状測定方法及び装置

発明者： 境 禎明 ,  北村 信男
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-183250
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043041
出願日： 1994年08月04日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】 非接触式変位センサを用いた被測定物の三次元形状の測定において、Z軸の制御系の安定を図るとともに高速かつ高精度の測定を可能にする。【構成】 少なくとも2個の変位センサ4,5を3軸移動機構10のZ軸3に取り付け、被測定物20上のX-Y平面内で連続的に走査しながら、予め設定された計測点ごとにZ方向の距離を測定し、その変位センサの出力をデータ処理装置16に取り込み、被測定物の傾斜を求め、求めた傾斜と走査速度からZ軸の最適な制御条件を決定し、その最適制御条件でZ軸の高さを一定に制御する。この時のZ座標と計測点のX,Y座標を同期して記憶装置18に記憶し、被測定物の三次元形状を算出する。

請求項（抜粋）：

3軸移動機構のZ軸に取り付けられた少なくとも2個の非接触式の変位センサをX-Y平面内で連続的に走査しながら、予め設定された計測点に1つの前記変位センサが一致するたびごとに、前記変位センサにより被測定物までのZ方向の距離をそれぞれ測定する工程と、前記工程において測定した2つのZ方向の距離から被測定物の傾斜を求める工程と、予め設定された走査速度と前記工程において求めた被測定物の傾斜から前記Z軸の最適な制御条件を決定する工程と、前記工程において決定した最適制御条件により前記Z軸を被測定物からの高さが一定となるよう制御する工程と、前記工程において前記Z軸の高さを一定に制御したときのZ座標と前記計測点のX,Y座標から被測定物の三次元形状を算出する工程と、からなる三次元形状測定方法。