特許

J-GLOBAL ID：200903012990714987

焦点検出装置およびこれを備えた顕微鏡、および、焦点検出方法

発明者： 佐瀬 一郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-076191
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270524
出願日： 2002年03月19日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】試料に影響を与えにくい焦点検出機構を備えた装置を提供する。【解決手段】エバネッセント光により試料を照明する照明手段15と、試料1によるエバネッセント光の散乱光17を検出する検出手段19とを含む。照明手段15は、試料1を含む溶液2に接する透明部材3に光を入射し、エバネッセント現象を生じさせ、透明部材3から溶液2にエバネッセント光を浸みださせることにより照明する。

請求項（抜粋）：

エバネッセント光により試料を照明する照明手段と、前記試料による前記エバネッセント光の散乱光を検出する検出手段とを含むことを特徴とする焦点検出装置。

IPC (2件)：

G02B 7/28 ,  G02B 21/00

FI (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 7/11 J

Fターム (23件)：

2H051AA11 ,  2H051BA70 ,  2H051CB07 ,  2H051CB14 ,  2H051CC03 ,  2H051CC13 ,  2H051CC14 ,  2H051GB15 ,  2H052AA09 ,  2H052AB02 ,  2H052AB06 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC09 ,  2H052AC12 ,  2H052AC13 ,  2H052AC14 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD03 ,  2H052AD09 ,  2H052AF14