特許
J-GLOBAL ID：200903012993707183
ラスタ走査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-245044
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060989
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 XY方向偏向器の駆動速度を高めることなく、かつ、高強度光源を準備することなく、高速ラスタ走査させる。【構成】 光源1からの円形ビーム光R1をXY方向偏向器2でマスク3面上にラスタ照射するラスタ走査装置において、シリンドリカルレンズ5A又はプリズム5Bを、前記光源1とXY方向偏向器2との間の光路に又は該XY方向偏向器2内の光路に、シリンドリカルレンズ5Aであれば、その長軸がラスタ走査方向と直交するように、又はプリズム5Bであれば、その頂辺が入射ビーム光R1を2分するように、かつ、ラスタ走査方向と一致するように、配設した。
請求項（抜粋）：
光源1からの円形ビーム光をXY方向偏向器2でマスク3上にラスタ照射するラスタ走査装置において、光源1とXY方向偏向器2との間の光路に、シリンドリカルレンズ5Aを、その長軸がラスタ走査方向と直交するように、配設した構成を特徴とするラスタ走査装置。
IPC (4件)：
G02B 26/10
, B23K 26/08
, G02B 26/10 102
, G02B 26/10 104
